近日，华海清科（上海）半导体有限公司（以下简称“华海清科”）签约落地金桥装备小镇·集创园。

华海清科此次落子，将依托金桥装备小镇区域产业生态，打造集研发、生产、销售、采购、服务于一体在沪总部，主营面向先进制程和先进封装领域的集成电路高端装备。项目落地后，补齐上海集成电路装备的品类，为上海集成电路产业发展战略添砖加瓦。

据介绍，此次落地金桥装备小镇，华海清科在上海布局的主要业务和产品为面向先进制程和先进封装领域的离子注入装备、化学机械抛光装备、高精度磨划装备。

本阶段初步建成上海研发生产中心，将紧跟上海及长三角地区重要客户不断演进的制程工艺节点，向更小的工艺节点以及3D IC先进封装等更丰富的新兴应用场景迈进，持续研发推进产品性能及关键技术指标提升，并迅速扩大产能以满足上海及长三角地区布局先进制程、先进封装等产线的重点客户需求。

同时，建设长三角区域客户技术服务中心及库存管理中心，提升客户服务能力和响应速度、提高维保和PM等技术服务业务的运营效率，为上海及长三角地区的客户提供一流的技术服务。

据了解，华海清科业务范围从化学机械抛光（CMP）装备成功延伸至减薄、划切、湿法、离子注入、边缘抛光等多个关键工艺领域。

其中，该公司在离子注入装备领域的系列突破，标志着其“装备+服务”平台化发展战略获得重要进展，旗下高端离子注入装备已成功进入国内多家集成电路制造头部企业及逻辑芯片制造龙头企业，实现批量应用。

来源：张通社微信公众号